氫氣回收系統裝置

工藝原理 

　　三氯氫矽尾氣中富含氫氣、氯矽烷、氯化氫氣體。氣體組份相對穩定，一旦外漏極易污染環境，同時三氯氫矽可以空氣中的微量水反應水解是SiO2和鹽酸，加速閥門的損壞，影響現場裝置和人員的安全。我公司開發的三氯氫矽尾氣回收裝置，能有效分離附加值高的氫氣，并利用氯矽烷低沸點特性，回收氯矽烷。

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